無塵室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。
現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格(U.S.Federalstandard209b),BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格(美國航空署5340.2規(guī)格)。
其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個(gè)0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級(jí)○○]。例如:空氣中含有10個(gè)0.5以下時(shí),表示為“等級(jí)10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。
在JIS標(biāo)準(zhǔn)下,無塵室清潔度,共分為8個(gè)等級(jí)
一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí),分為等級(jí)1、2•••8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1;百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3,一次類推。
21世界,最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3
潔凈度級(jí)別 粒 徑 (um)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1 35 7.5 3 1 NA
10 350 75 30 10 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7
10000 NA NA NA 10000 70
100000 NA NA NA 100000 700
中國藥品生產(chǎn)無塵車間(區(qū))的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度級(jí)別 塵埃最允許數(shù) /平方米 微生物最大允許數(shù)
≥0.5um 5um 浮游菌個(gè)/立方米 沉降菌個(gè)/皿.30min
100 3500 0 5 1
10000 350000 2000 100 3
100000 3500000 20000 500 10
300000 10500000 61800 NA 15
無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)GB50073-2001
空氣潔凈度 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3)
等級(jí) (N) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4 10000 2370 1020 352 83
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 352000 83200 2930
8 3520000 832000 29300
9 35200000 8320000 293000
所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長,也增加了對(duì)制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
吸塵器 無塵室吸塵器 氣動(dòng)吸塵器 工業(yè)吸塵器